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多晶硅生产设备及工艺优化研究

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摘要多晶硅作为光伏产业与半导体产业的核心基础原料，其纯度与生产效率直接决定下游产品质量与产业竞争力。本文围绕多晶硅产业发展现状，聚焦生产核心设备及关键工艺，分析当前主流生产技术的应用瓶颈，探讨设备结构改良与工艺参数优化的具体路径，结合行业应用场景提出针对性优化方案，旨在提升多晶硅生产的稳定性、降低能耗与···

DOI d3e13mlk8j/1921803192

作者贾军军

机构地区内蒙古通威硅能源有限公司内蒙古包头市 014010.

出处中国科技信息 2026年3期

关键词多晶硅；生产设备；工艺优化；光伏产业；半导体材料

分类 [[工程技术][科学技术][工艺优化]]

出版日期 2026年05月12日（期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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