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多晶硅生产工艺优化与实践

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摘要多晶硅作为光伏产业、半导体产业的核心原材料，其生产工艺的先进性直接决定产品质量、生产成本及产业竞争力。当前我国多晶硅产业规模位居全球前列，但主流生产工艺仍存在能耗偏高、物料利用率不足、产品纯度适配性有待提升等问题。本文立足化工行业视角，结合多晶硅实际生产场景，重点分析改良西门子法与硅烷流化床法两种主···

DOI dpz5x6l9w4/1687134311

作者陈小雨

机构地区内蒙古通威硅能源有限公司014010.

出处中国科技信息 2026年3期

关键词多晶硅；生产工艺；改良西门子法；硅烷流化床法；工艺优化

分类 [[工程技术][科学技术][工艺优化]]

出版日期 2026年05月19日（期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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多晶硅；生产工艺；改良西门子法；硅烷流化床法；工艺优化

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