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三氯氢硅生产质量控制策略探析

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摘要三氯氢硅作为卤硅烷系列化合物的核心产品，是化工行业中生产多晶硅、硅烷偶联剂的关键原料，广泛应用于光伏、半导体、表面处理、密封材料等下游领域，其产品质量直接决定下游产品性能、生产安全性及企业市场竞争力。本文立足化工行业三氯氢硅生产实际，结合硅氢氯化法、四氯化硅氢化法两种主流生产工艺的应用场景，分析三氯···

DOI dlggkwqvp4/1003918188

作者李军

机构地区内蒙古鑫环硅业科技有限公司010000.

出处中国建设信息化 2026年4期

关键词三氯氢硅；化工生产；质量控制；生产工艺；杂质管控

分类 [[工程技术][科学技术][科技信息]]

出版日期 2026年06月10日（期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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三氯氢硅；化工生产；质量控制；生产工艺；杂质管控

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