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三氯氢硅生产过程节能降耗研究

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摘要三氯氢硅作为化工行业的重要中间体，广泛应用于多晶硅、有机硅生产及半导体材料制造等场景，是光伏、电子等产业发展的核心原料。当前，三氯氢硅生产多采用硅粉与氯化氢气相合成工艺，存在能耗高、资源利用率低、污染物排放量大等问题，既增加企业生产成本，也不符合绿色化工发展要求。本文立足三氯氢硅生产实际，分析生产过···

DOI dlggkwqvp4/1003118157

作者李军

机构地区内蒙古鑫环硅业科技有限公司010000.

出处工程管理前沿 2026年4期

关键词三氯氢硅；化工生产；节能降耗；工艺优化；余热回收

分类 [[工程技术][科学技术][科技信息]]

出版日期 2026年06月10日（期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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